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安科瑞電氣股份有限公司 上海嘉定 201801
摘要:根據(jù)上海市某半導(dǎo)體制造工廠2015年1月1日至2017年12月31日動(dòng)力機(jī)房內(nèi)冷水機(jī)組的實(shí)測滿載率和全年逐日負(fù)荷中與室外氣象條件相關(guān)部分,推導(dǎo)負(fù)荷和室外空氣比焓的關(guān)聯(lián)度,并依據(jù)4個(gè)生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的典型氣象(設(shè)計(jì)典型)年逐時(shí)參數(shù)報(bào)表總結(jié)了建造地點(diǎn)對(duì)能耗的影響,提出了未來半導(dǎo)體工廠的節(jié)能方向。
關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體工廠;負(fù)荷;能源消耗;氣象數(shù)據(jù);比焓分析
0引言
隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)越來越進(jìn)步,以及制造裝置和配套設(shè)備大型化的趨勢,潔凈室結(jié)構(gòu)和面積也越來越大,半導(dǎo)體工廠的能源消耗日趨增大。精細(xì)分析工廠的能源消耗組成及不同條件下建廠對(duì)運(yùn)行費(fèi)用的影響顯得十分重要。本文以上海市某半導(dǎo)體制造工廠機(jī)房改造項(xiàng)目為例,整理半導(dǎo)體廠房能耗規(guī)律并形成報(bào)告,進(jìn)一步演算不同建造地點(diǎn)對(duì)半導(dǎo)體廠房能耗影響的關(guān)聯(lián)度,為公司經(jīng)營活動(dòng)提供數(shù)據(jù)支持。
1半導(dǎo)體工廠的能源消耗
1.1能源消耗結(jié)構(gòu)
國維持室內(nèi)潔凈度、溫濕度,為生產(chǎn)設(shè)備提供電力、超純水、特氣、化學(xué)品、壓空、真空,以及進(jìn)行廢水、廢氣處理等需要消耗大量能源,半導(dǎo)體潔凈廠房消耗的能源以電和天然氣為主。根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)公布的SEMI-S23裝置能源換算系數(shù),統(tǒng)計(jì)得到上海某半導(dǎo)體制造工廠的能源消耗結(jié)構(gòu),如圖1所示,除生產(chǎn)設(shè)備用電外的生產(chǎn)附屬設(shè)備能耗結(jié)構(gòu)如圖2所示。
1.2能耗數(shù)據(jù)分析
由圖1可以看出,生產(chǎn)設(shè)備所消耗的能源多,占比達(dá)52%,而且與設(shè)備相關(guān)的冷熱源設(shè)備(占比20%)也是能耗大戶。在同樣工藝、相同產(chǎn)能前提下,生產(chǎn)設(shè)備耗能相差甚微,所以本文重點(diǎn)討論冷源設(shè)備中因工廠建造地點(diǎn)不同、新風(fēng)參數(shù)變化引起的能耗波動(dòng),旨在分析建造地點(diǎn)對(duì)半導(dǎo)體工廠能耗的影響。
2某半導(dǎo)體制造工廠2015—2017年冷水機(jī)組運(yùn)行參數(shù)分析
2.1數(shù)據(jù)來源
原機(jī)房設(shè)計(jì)采用機(jī)械通風(fēng)方式(機(jī)械排風(fēng)+自然送風(fēng)),離心風(fēng)機(jī)通過風(fēng)管系統(tǒng)將機(jī)房內(nèi)空氣吸入后排出室外,在機(jī)房內(nèi)形成一定的相對(duì)負(fù)壓,室外新風(fēng)經(jīng)由特定位置的百葉風(fēng)口吸入機(jī)房內(nèi)。機(jī)房運(yùn)行多年后,特別是二期的冷水機(jī)組及水泵安裝運(yùn)行后,發(fā)現(xiàn)如下問題:1)夏季機(jī)房內(nèi)溫度過高,維保人員無法忍受;2)夏季機(jī)房內(nèi)濕度過高,導(dǎo)致部分管路出現(xiàn)凝露銹蝕;3)全年機(jī)房內(nèi)為負(fù)壓,設(shè)備積塵嚴(yán)重。根據(jù)建設(shè)單位提供的機(jī)房2015年1月1日至2018年8月12日的水泵運(yùn)行頻率和冷水機(jī)組的壓縮機(jī)運(yùn)行電流,計(jì)算得出冷負(fù)荷,設(shè)計(jì)MAU+RCU(新風(fēng)空調(diào)機(jī)+自循環(huán)機(jī)組)組合空調(diào)方式解決上述3個(gè)問題,并使機(jī)房全年溫度不高于28℃,相對(duì)濕度不大于60%,同時(shí)驗(yàn)證建設(shè)單位所提供數(shù)據(jù)的真實(shí)可靠性。由于2018年數(shù)據(jù)不全,本文僅對(duì)2015—2017年3個(gè)完整日歷年的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
2.2數(shù)據(jù)分析結(jié)論
數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)思路為將給定的當(dāng)日冷水機(jī)組運(yùn)行臺(tái)數(shù)乘以設(shè)備的額定功率再乘以機(jī)組當(dāng)日的負(fù)荷率,得出當(dāng)日的運(yùn)行平均輸出功率PD:PD=NDPR(1)式中ND為當(dāng)日冷水機(jī)組運(yùn)行臺(tái)數(shù),以2015年1月1日一期低溫冷水機(jī)組為例,ND=2;P為冷水機(jī)組額定功率,同上條件,P=752kW;R為冷水機(jī)組額定負(fù)載電流,同上條件,R=55%。計(jì)算可得,2015年1月1日一期低溫冷水機(jī)組的平均輸出功率為827.2kW。根據(jù)上述方法分別統(tǒng)計(jì)出低溫冷水機(jī)組和中
溫冷水機(jī)組2015年的逐日平均輸出功率,如圖3所示。
根據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)得出,低溫冷水機(jī)組整年運(yùn)行曲線平整,5—10月為負(fù)荷高峰期,其余月份除偶爾幾天出現(xiàn)峰值,其他日期較5—10月低36%,低溫冷水機(jī)組的日平均輸出功率低值出現(xiàn)在12月17日,為612kW;高值出現(xiàn)在8月7日,為2249.4kW。分析數(shù)據(jù)得出,低溫冷水機(jī)組全年開啟是因?yàn)槠渌綄俟δ軈^(qū),比如辦公區(qū)、食堂、設(shè)備機(jī)房的新風(fēng)空調(diào)及FCU等全年制冷設(shè)備接入了低溫冷水所致,這部分負(fù)荷相對(duì)比較固定,室外空氣參數(shù)對(duì)其影響較小,在后面分析中刪減此部分負(fù)荷,如圖3所示。中溫冷水機(jī)組整年運(yùn)行曲線根據(jù)新風(fēng)條件不同發(fā)生了相應(yīng)變化,日平均輸出功率低值出現(xiàn)在
2月5日,為2734.12kW;高值出現(xiàn)在8月6日,為7640.72kW。分析數(shù)據(jù)得出,中溫冷水機(jī)組承擔(dān)了核心生產(chǎn)區(qū)的MAU新風(fēng)預(yù)冷負(fù)荷、生產(chǎn)區(qū)降溫干盤管負(fù)荷、純廢水用冷負(fù)荷、生產(chǎn)冷卻水用冷負(fù)荷等,全年負(fù)荷水平較高,且不隨室外空氣參數(shù)變化而變化,在后面分析中合理刪減此部分負(fù)荷,如圖4所示。
按照此方法,分別統(tǒng)計(jì)出2016年和2017年的逐日平均輸出功率,如圖5~8所示。
3四個(gè)生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的氣象數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)
3.1建廠地點(diǎn)選擇分析
工業(yè)企業(yè)建設(shè)地點(diǎn)的選擇和很多因素有關(guān),一般來說除考慮社會(huì)、經(jīng)濟(jì)、技術(shù)、政策因素以外,自然資源也有很大影響,比如氣候、水資源、風(fēng)力資源、電力資源、天然氣供給等。本文選擇北京、上海、成都、廈門4個(gè)生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析,使論文更貼合工程實(shí)際應(yīng)用,發(fā)掘其中規(guī)律。為使論文的數(shù)據(jù)來源更具性,氣象參數(shù)引自氣象局公布的“典型氣象(設(shè)計(jì)典型)年
逐時(shí)參數(shù)報(bào)表",北京站臺(tái)編號(hào)為54511,上海站臺(tái)編號(hào)為58362,成都站臺(tái)編號(hào)為57633,廈門站臺(tái)編號(hào)為59134。
工廠運(yùn)行時(shí),能耗特點(diǎn)為用于夏季降溫除濕的能耗大于冬季用于加濕的能耗,如果簡單選擇室外干球溫度變化趨勢來分析,勢必造成數(shù)據(jù)失真,比如室外中溫高濕情況下冷水機(jī)組負(fù)荷也大。因此,本文歸類統(tǒng)計(jì)4個(gè)生產(chǎn)半導(dǎo)體的重點(diǎn)城市的逐日比焓,來驗(yàn)證不同城市的能耗偏差。
3.2北京典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(jì)(見圖9)
3.3上海典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(jì)(見圖10)
3.4成都典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(jì)(見圖11)
3.5廈門典型氣象年逐日比焓統(tǒng)計(jì)(見圖12)
4室外空氣參數(shù)變化對(duì)能耗的影響分析
通過對(duì)圖10所示的上海典型氣象年逐日比焓與圖3、5中冷水機(jī)組2015—2017年逐日平均輸出功率的正相關(guān)性分析,計(jì)算得到因室外空氣比焓波動(dòng)引起的平均輸出功率增加因數(shù),再反推北京、成
都、廈門三地的能耗,結(jié)果見表1。地點(diǎn)對(duì)能耗影響比重約為9%;選擇以北京為代表的寒冷地區(qū)建廠為佳,選擇以上海、成都為代表的夏熱冬冷地區(qū)次之,而以廈門為代表的夏熱冬暖地區(qū)稍差;能耗偏差在-25%~30%之間,約占整廠能耗的2%~3%。
5半導(dǎo)體工廠節(jié)能措施分析
根據(jù)圖1所示的能源消耗構(gòu)成,半導(dǎo)體工廠的能源消耗特性是空調(diào)設(shè)備和生產(chǎn)制造裝置能耗占比大,所以從這兩方面開展節(jié)能對(duì)策研究,具體分析如下。
5.1生產(chǎn)設(shè)備節(jié)能對(duì)策
半導(dǎo)體生產(chǎn)中,應(yīng)根據(jù)各個(gè)生產(chǎn)過程的不同特點(diǎn),深入了解設(shè)備特性,優(yōu)化生產(chǎn)程序,達(dá)到節(jié)能目的。例如,擴(kuò)散爐等設(shè)備用電量大,使得潔凈室內(nèi)冷負(fù)荷增大,對(duì)應(yīng)的冷卻水量、排氣量增大:從用電量考慮,考慮生產(chǎn)設(shè)備并不是連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)生產(chǎn),需要降低設(shè)備待機(jī)狀態(tài)時(shí)的用電量;從冷卻水考慮,在設(shè)備允許的前提下,提高冷卻水的溫度,使全年均可使用冷卻塔自然換熱,而不需要經(jīng)過冷水機(jī)組換熱降溫;從排氣量考慮,準(zhǔn)確把握裝置的必要排氣量和真空度要求,匹配好設(shè)定值和需要值之間的誤差,減少排氣浪費(fèi),從而降低新風(fēng)處理能耗。再比如清洗裝置,純水使用量和廢液排放量特別多,從消耗純水考慮,二次配管時(shí),循環(huán)管應(yīng)盡可能靠近機(jī)臺(tái),減少因非循環(huán)管路洗凈等待時(shí)的純水排出量,從而也減少廢液排放。
5.2生產(chǎn)附屬設(shè)備節(jié)能對(duì)策
根據(jù)圖2所示生產(chǎn)附屬設(shè)備能源消耗構(gòu)成,冷熱源設(shè)備和循環(huán)空調(diào)設(shè)備是主要耗能設(shè)備,提高冷水機(jī)組的COP,提高風(fēng)機(jī)、水泵的輸送能效比是節(jié)能的關(guān)鍵。由于生產(chǎn)的不同時(shí)使用特性,風(fēng)機(jī)和水泵大范圍使用變頻器,排氣熱回收和冬季、過渡季使用免費(fèi)供冷系統(tǒng)是節(jié)能的有效對(duì)策,比如富士通的半導(dǎo)體工廠在寒冷地區(qū)建廠,冬季使用低溫冷卻水降低冷水回水溫度,從而提高冷水機(jī)組COP,甚至縮短冷水機(jī)組運(yùn)行時(shí)間,降低電力消耗。
6 Acrel-EIOT能源物聯(lián)網(wǎng)云平臺(tái)
(1)概述
Acrel-EIoT能源物聯(lián)網(wǎng)開放平臺(tái)是一套基于物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)中臺(tái),建立統(tǒng)一的上下行數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn),為互聯(lián)網(wǎng)用戶提供能源物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)服務(wù)的平臺(tái)。用戶僅需購買安科瑞物聯(lián)網(wǎng)傳感器,選配網(wǎng)關(guān),自行安裝后掃碼即可使用手機(jī)和電腦得到所需的行業(yè)數(shù)據(jù)服務(wù)。
該平臺(tái)提供數(shù)據(jù)駕駛艙、電氣安全監(jiān)測、電能質(zhì)量分析、用電管理、預(yù)付費(fèi)管理、充電樁管理、智能照明管理、異常事件報(bào)警和記錄、運(yùn)維管理等功能,并支持多平臺(tái)、多語言、多終端數(shù)據(jù)訪問。
(2)應(yīng)用場所
本平臺(tái)適用于公寓出租戶、連鎖小超市、小型工廠、樓管系統(tǒng)集成商、小型物業(yè)、智慧城市、變配電站、建筑樓宇、通信基站、工業(yè)能耗、智能燈塔、電力運(yùn)維等領(lǐng)域。
(3)平臺(tái)結(jié)構(gòu)
(4)平臺(tái)功能
◆電力集抄
電力集抄模塊可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各種監(jiān)測數(shù)據(jù)的查詢、分析、預(yù)警及綜合展示,以保證配電室的環(huán)境友好。在智能化方面實(shí)現(xiàn)供配電監(jiān)控系統(tǒng)的遙測'、遙信、遙控控制,對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行綜合檢測和統(tǒng)一管理;在數(shù)據(jù)資源管理方面,可以顯示或查詢供配電室內(nèi)各設(shè)備運(yùn)行(包括歷史和實(shí)時(shí)參數(shù),并根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行日?qǐng)?bào)、月報(bào)和年報(bào)查詢或打印,提高工作效率,節(jié)約人力資源。
變壓器監(jiān)控
配電圖
◆能耗分析
能耗分析模塊采用自動(dòng)化、信息化技術(shù),實(shí)現(xiàn)從能源數(shù)據(jù)采集、過程監(jiān)控、能源介質(zhì)消耗分析、能耗管理等全過程的自動(dòng)化、科學(xué)化管理,使能源管理、能源生產(chǎn)以及使用的全過程有機(jī)結(jié)合起來,運(yùn)用數(shù)據(jù)處理與分析技術(shù),進(jìn)行離線生產(chǎn)分析與管理,實(shí)現(xiàn)全廠能源系統(tǒng)的統(tǒng)一調(diào)度,優(yōu)化能源介質(zhì)平衡、有效利用能源,提高能源質(zhì)量、降低能源消耗,達(dá)到節(jié)能降耗和提升整體能源管理水平的目的。
能耗概況
◆預(yù)付費(fèi)管理
1)登陸管理:管理操作員賬戶及權(quán)限分配,查看系統(tǒng)日志等功能;
2)系統(tǒng)配置:對(duì)建筑、通訊管理機(jī)、儀表及默認(rèn)參數(shù)進(jìn)行配置;
3)用戶管理:對(duì)商鋪用戶執(zhí)行開戶、銷戶、遠(yuǎn)程分合閘、批量操作及記錄查詢等操作;
4)售電管理:對(duì)已開戶的表進(jìn)行遠(yuǎn)程售電、退電、沖正及記錄查詢等操作;
5)售水管理:對(duì)已開戶的表進(jìn)行遠(yuǎn)程售水、退水、記錄查詢等操作;
6)報(bào)表:提供售電、售水財(cái)務(wù)報(bào)表、用能報(bào)表、報(bào)警報(bào)表等查詢,本系統(tǒng)所有的報(bào)表及記錄查詢,都支持excel格式導(dǎo)出。
預(yù)付費(fèi)看板
◆充電樁管理
通過物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),對(duì)接入系統(tǒng)的充電樁站點(diǎn)和各個(gè)充電樁進(jìn)行不間斷地?cái)?shù)據(jù)采集和監(jiān)控,同時(shí)對(duì)各類故障如充電機(jī)過溫保護(hù)、充電機(jī)輸入輸出過壓、欠壓、絕緣檢測故障等一系列故障進(jìn)行預(yù)警。云平臺(tái)包含了充電收費(fèi)和充電樁運(yùn)營的所有功能,包括城市級(jí)大屏、交易管理、財(cái)務(wù)管理、變壓器監(jiān)控、運(yùn)營分析、基礎(chǔ)數(shù)據(jù)管理等功能。
充電樁看板
◆智能照明
智能照明通過物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)對(duì)安裝在城市各區(qū)域的室內(nèi)照明、城市路燈等照明回路的用電狀態(tài)進(jìn)行不間斷地?cái)?shù)據(jù)監(jiān)測,也可以實(shí)現(xiàn)定時(shí)開關(guān)策略配置及后臺(tái)遠(yuǎn)程管理和移動(dòng)管理等,降低路燈設(shè)施的維護(hù)難度和成本,提升管理水平,并達(dá)到一定節(jié)能減掛的效果。
監(jiān)控頁面
◆安全用電
安全用電采用剩余電流互感器、溫度傳感器、電氣,對(duì)引發(fā)電氣火災(zāi)的主要因素(導(dǎo)線溫度、電流和剩余電流)進(jìn)行不間斷的數(shù)據(jù)跟蹤與統(tǒng)計(jì)分析,并將發(fā)現(xiàn)的各種隱患信息及時(shí)推送給企業(yè)管理人員,指導(dǎo)企業(yè)實(shí)現(xiàn)一時(shí)間的排查和治理,達(dá)到消除潛在電氣火災(zāi)安全隱患,實(shí)現(xiàn)“防患于未然"的目的。
◆智慧消防
通過云平臺(tái)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、挖掘和趨勢分析,幫助實(shí)現(xiàn)科學(xué)預(yù)警火災(zāi)、網(wǎng)格化管理、落實(shí)多元責(zé)任監(jiān)管等目標(biāo)。原先針對(duì)“九小場所"和?;飞a(chǎn)企業(yè)無法有效監(jiān)控的空白,適應(yīng)于所有公建和民建,實(shí)現(xiàn)了無人化值守智慧消防,實(shí)現(xiàn)智慧消防“自動(dòng)化"、“智能化"、“系統(tǒng)化"、用電管理“精細(xì)化"的實(shí)際需求。
(5)系統(tǒng)硬件配置
7結(jié)論
以史為鑒,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略之爭。2014年國務(wù)院頒布的《集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》明確提出,到2020年,集成電路產(chǎn)業(yè)與國際水平的差距逐步縮小,16、14nm制造工藝實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn),封裝測試技術(shù)達(dá)到國際水平,關(guān)鍵裝備和材料進(jìn)入國際采購體系,基本建成技術(shù)、安全可靠的集成電路產(chǎn)業(yè)體系。2015年發(fā)布的10年戰(zhàn)略計(jì)劃《中國制造2025》則提出,2020年中國芯片自給率要達(dá)到40%,2025年要達(dá)到70%。如何推動(dòng)半導(dǎo)體工廠的建廠技術(shù)進(jìn)步,服務(wù)戰(zhàn)略是我們接下來要持之以恒去做的事情。本文從能耗實(shí)測數(shù)據(jù)出發(fā),定性分析了建廠地點(diǎn)對(duì)能耗的影響,進(jìn)而提出了一些節(jié)能措施。后續(xù)工作是收集更多的半導(dǎo)體工廠運(yùn)行數(shù)據(jù),建成數(shù)據(jù)庫儲(chǔ)備,提升技術(shù)能力。
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作者簡介
劉細(xì)鳳,安科瑞電氣股份有限公司